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本书共分六篇十二章, 系统介绍了微加工技术工艺原理和实验教程。本书内容理论和实验相结合, 涵盖了微加工技术工艺中的光刻、刻蚀、薄膜沉积、氧化和掺杂等工艺。理论部分着重对各种工艺技术的原理进行阐述。实验部分列举了光刻、刻蚀、薄膜制备和掺杂四大类工艺的单项实验、器件制造工艺实验和器件特性测量实验。
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